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隨著半導(dǎo)體技術(shù)的不斷進(jìn)步，對(duì)薄膜材料的精確控制和測(cè)量要求也越來(lái)越高。X-ray膜厚儀作為一種先進(jìn)的非接觸式測(cè)量工具，在半導(dǎo)體制造中廣泛應(yīng)用，尤其在薄膜厚度的精準(zhǔn)測(cè)量方面，發(fā)揮著不可替代的作用。一、X-ray膜厚儀原理X-ray膜厚儀基于X射線的衍射原理，通過(guò)測(cè)量X射線與薄膜表面或薄膜與基底之間相互作用的變化來(lái)計(jì)算膜層的厚度。X射線照射到薄膜表面時(shí)，會(huì)發(fā)生散射和吸收。根據(jù)不同材料的性質(zhì)，X射線的衍射...